真空泵油在泵中起了密封、潤滑、冷卻和頂開排氣閥的作用，所以泵油參與了壓縮和摩擦，又減少了各零部件之間的摩擦。對于沒有設置油泵的滑閥泵，只要滑閥與泵蓋、中隔板之間的間隙適當，泵的進油量會自動調節。但如配有油泵，則油泵的流量必須經過仔細計算，通常為(7~10)x10-4S(S為泵的抽速L/s)，如油量過大，進入泵后將使真空泵變成油泵，不但壓縮功增加，而且摩擦損失急劇增加。

泵油的運動粘度隨溫度的變化很大，如某廠的V100油，40℃時粘度為104.62mm2/s,100℃時粘度為11.63mm2/s。所以在保證工作真空度的條件下，適當的提高泵溫，對降低消耗功率是大有益處的，豪可德真空科技通過實驗證明，把泵溫從50℃提高到70℃,消耗功率可降低7%,而且更有利于可凝性蒸氣的抽除，同時也減少了冷卻水消耗量。

真空泵油一般在-12℃就會凝固，故北方有些單位將泵置于室外工作是不可取的。這樣不但不利于泵的啟動，而且泵在啟動后的短時間內，某些部位處于缺油或少油的狀態，容易造成泵的損壞。