光解廢氣凈化設備是先將集氣系統收集的廢氣輸送到堿式吸收塔中，將廢氣由下而上輸入，堿液通過噴淋的方式由上而下噴淋廢氣，經過吸收塔處理后的氣體在經過一層水幕除塵后輸入燃燒塔中。此過程去除了廢氣中含有的部分酸性氣體和粉塵。廢氣仍然由下而上進入燃燒塔，在燃燒塔中燃燒后，除去了廢氣中含有的有機物，后再經過一層水幕除塵過程，再去除氣體中因燃燒產生的粉塵，燃燒后的二氧化碳和水就排入大氣中即可。
光解廢氣凈化設備
廢氣源集氣罩(搜集車間各個廢氣源的廢氣，接入主管道)噴淋吸收塔(吸收掉能溶于水的無機廢氣、粉塵以及顆粒物，降低廢氣溫度，為等離子提供優良的運行環境)一級低溫等離子處理設備(破壞廢氣分子結構，轉化為無污染物質)高壓風機(高壓的吸力作用下將風抽出車間)凈化吸收塔(進一步吸收粉塵以及顆粒物以及一些無機氣體，水洗小分子碎片，利于檢測達標)煙囪高空排放(也可低空排放)。
利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S、VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。
