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鄭州科佳電爐有限公司
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產品概述：KJ-T1200CVD是具有80mm直徑氧化鋁管真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統的管式爐
產品概述：
KJ-T1200 CVD是具有80mm直徑氧化鋁管真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統的管式爐。它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴散。
技術參數：
型號 | 帶有3個MFC氣體通道的 KJ-T1200 CVD | |
顯示 | 發光二極管 | |
溫度 | 1200℃短時間 | |
連續工作溫度 | ≤1100℃ | |
加熱速率 | 建議：0?10℃/ min | |
溫度區 | 220毫米+220毫米+220毫米 | |
加熱元件 | 鉬電阻絲 | |
熱電偶 | K型 | |
溫度控制精度 | ±1℃ | |
管尺寸 | 80x1200mm（外徑x長） | |
管座 | 包括兩個纖維狀陶瓷塊，用于阻止管子內部的熱輻射（在加熱之前，陶瓷塊必須*插入爐膛中）。 | |
溫度控制 | 通過SCR功率控制進行PID自動控制 | |
程序和斜坡 | 30步可編程 | |
真空法蘭 | 帶閥的不銹鋼真空法蘭
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功率 | 220V，50 Hz，單相6KW | |
質量流量計 | 三種精密質量流量計： MFC 1：氣體流量范圍為0?100 sccm MFC 2：氣體流量范圍為0?200 sccm MFC 3：氣體流量范圍為0?200 sccm （氣體流量范圍可根據您的要求） 底殼上裝有一個氣體混合罐，底殼左側裝有3個不銹鋼針閥，以手動控制3種氣體的混合 下面的照片是4 MFC供參考。3 MFC將帶有3個顯示器
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