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成都維克安科技有限公司
FS4001系列小氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的
性能參數 | FS4001 | 單位 | |
通 徑 | 1.0 | 1.8 | mm |
流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SLPM |
量程比 | 2132132132131231312100:1 | | |
精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復性 | 0.25 | %讀數 | |
零點輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | ±0.12 | %/oC | |
響應時間 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA | | |
輸出方式 | 線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc | | |
流量壓損 | 350 | 300 | pa |
工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
存儲溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
工作濕度 | <95%RH(無結冰、無凝露) | | |
機械接口 | 可拆式軟管接頭 | | |
校準方式 | 空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa | | |
重量 | 15 | g |
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