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旦順實業有限公司


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銀漿固化烘箱 基板除潮 百級無氧烘箱 工業烘箱

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參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號COL-1

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地上海

聯系方式:蔣鑫查看聯系方式

更新時間:2023-08-12 10:00:07瀏覽次數:586次

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產品簡介
加工定制 類型 其他

智能烘箱過程管理系統由上海旦順實業有限公司自主研發,基于TCP/ip協議,與工廠系統對接,實現自動化烘烤,過程管理。控制方便、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構造,大大提高生產效力!
無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅膜硬烘(Hard baking)等工藝,適用半導體

詳細介紹

銀漿固化烘箱 基板除潮 百級無氧烘箱

烘箱主要參數介紹:

溫度范圍:室溫+20℃~300/400/500/600℃

規格尺寸:

型號

工作尺寸(mm)

功率

COL-1-PC

W450×H350×D450

3.5Kw

COL-2-PC

W450×H700×D450

5.5Kw

均勻度:±1.5%

潔凈等級:Class10  Class100(潔凈度要求可根據客戶需求配置)

含氧量:<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM (含氧量要求可根據客戶需求配置)

升溫速度:常溫~+600℃,升溫速率:0~7℃/min,升溫斜率程序可控

降溫速度:降溫斜率程序可控

控制系統:PCL+PC工控電腦

公司名稱:上海旦順實業有限公司

業務經理:蔣鑫;   

 

 

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