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影響三氯化鐵蝕刻速度的因素

閱讀:599發布時間:2015-06-08

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影響蝕刻速率因素
蝕刻液中的三價鐵的濃度和蝕刻液的溫度有很大的關聯。

蝕刻液溫度越高,蝕刻速度也就越快,溫度的選擇應以不損壞抗蝕層為原則。

三氯化鐵里面的三價鐵的濃度對蝕刻數率有很大的影響,蝕刻液中的三價鐵濃度逐漸增加,對銅的蝕刻速率相應加快,當所含三價鐵超過其一濃度時,由于溶液粘度增加,蝕刻速率反有所降低。


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