平行平晶
簡介
具有兩個（或個）光學測量平面的正圓柱形或長方形的量規。光學測量平面是表面粗糙度數值和平面度誤差都極小的玻璃平面，它能夠產生光波干涉條紋（見激光測長技術）。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測量高光潔表面的平面度誤差，為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學測量平面是相互平行的，用于測量兩高光潔表面的平行度誤差，例如千分尺兩測量面的平行度誤差.平晶用光學玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45～150毫米。其光學測量平面的平面度誤差為:1級精度的為0.03～0.05微米；2級精度的為0.1微米。常見的長方形平面平晶的有效長度般為200毫米。
平行平晶：是以光波干涉原理為基礎，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現的干涉條紋來測量被測量面的誤差。平行平晶據有高精度的平面性和平行性。
具體規格：
每組平行平晶共四塊，分四個尺寸系列組
測量面上平面度偏差： <0.1μm
平面度局部偏差： >0.03μm
測量面平行度誤差： 組Ⅰ系列允差值：0.06μm
組Ⅱ、Ⅲ系列允差值：0.08μm
組Ⅳ系列允差值：0.1μm
測量面上平面度偏差： <0.1μm
平面度局部偏差： >0.03μm
測量面平行度誤差： 組Ⅰ系列允差值：0.06μm
組Ⅱ、Ⅲ系列允差值：0.08μm
組Ⅳ系列允差值：0.1μm
組Ⅰ | 平行平晶 | 0－25mm | 4塊/組 |
組Ⅱ | 平行平晶 | 25－50mm | 4塊/組 |
組Ⅲ | 平行平晶 | 50－75mm | 4塊/組 |
組Ⅳ | |||
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