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運用超高壓脈沖電暈技術，當有機廢氣進入高壓電場模塊內，高壓電場發生器在工作電壓的脈沖電暈作用下，發生強烈的輝光放電，電場模塊內遍布強紫光，有機廢氣中的有機物在強紫光作用下，可在極短的時間（ns）內，廢氣瞬間被激活，自由能猛增成為活化分子，這些活化分子在發生頻繁碰撞的瞬間，將動能轉化成為分子內部的勢能，原有化學鍵發生斷裂，生成新的無害單一原子氣體，從而達到凈化目的。經反應后，有害的HC化合物轉化為無毒的CO2和H2O，因此，本法可利用較少的能耗達到治理VOC污染的目的，適用于大流量低濃度有機廢氣的治理。
