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上海貝丁漢工業自動化設備有限公司


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雙頻激光干涉儀ZLM700

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更新時間：2018-01-23 14:38:37瀏覽次數：519次

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產品簡介

ZLM系列雙頻激光干涉儀是德國耶拿爾JENAer公司生產的新一代雙頻激光干涉儀。它是世界上*一家將*的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的制造商。該公司的雙頻激光干涉儀，不僅能夠精確的測量數控機床的幾何量，如線性度、直線度、垂直度、偏擺角、俯仰角、滾動角、平面度、同軸度、數控機床的回轉量的測量和校準以及坐標機的調試等。

詳細介紹

在德國，耶拿地區以生產蔡司光學產品而聞名。位于該地區的耶拿爾（JENAer）公司生產的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產品中，由于具有*的性能優勢和簡單的操作方法而久負盛名。由本公司代理，德國耶拿爾JENAer公司生產的雙頻激光干涉儀是真正意義上的雙頻干涉儀，并非單頻干涉原理。

產品功能
     定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量等，還能夠測量數控機床的回轉量等，從而實現定位、校準、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統的校準和測量，廣泛應用于高速動態加工工藝中的機械定位和系統控制。

性能優勢
l          真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區別。*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩定。世界范圍內只有兩家雙頻激光干涉儀的生產商，德國耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國生產制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。
l          測量系統采用模塊化設計，各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測量直線度），則僅采購所需功能部分的光學部件（直線度光學鏡），其他不需要的功能暫時可以不采購；若后期有其他功能的需求，補充采購功能對應的部件即可。
l          激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩頻精度高，一小時內為±0.002ppm，在產品壽命內可達±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理，系統精度更高，可達±0.4ppm。
l          計算機輔助光路調整，調整結果更準確。
l          采樣頻率更快，zui高達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l          被測物體zui大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數據處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。
l          無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩定。
l          信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。
l          對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量，請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，zui多可實現六軸聯動。

工作原理
型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠對高速物體進行測量，不會出現干擾誤差，信號延時時間極短。
采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號傳輸到計算機卡槽連接的電子計數器上，避免了外部電磁環境對測量信號的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產環境、標準化實驗室和高真空環境。

技術參數

型號：ZLM700
使用高性能數據處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長：
632.8 nm
激光穩頻精度：
一小時2x10-9（±0.002ppm）
壽命內2x10-8（±0.02ppm）
系統精度（0-40℃時）：
±0.4ppm
光束直徑：
6mm （可選3.2mm）
激光管突發zui大輸出功率：
1mW （激光等級2）
每束光可測量的軸數：
1
線性測量距離：
40m，可擴展為120m
角度測量范圍：
± 15°，20m軸線范圍
平面度測量范圍：
20m行程
直線度測量范圍：
± 5mm，2m或10m行程，
選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍：
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉儀
zui大速度：
4m/s，可選16m/s
80rad/s，角速度
zui大加速：
無限制
zui高采樣頻率：
內部1MHz，外部40MHz
預熱時間：
10分鐘
精度/非線性：
±0.3nm （角隅反射鏡）
±0.1nm （平面反射鏡）
距離測量分辨率：
0.6nm （角隅反射鏡）
0.3nm （平面反射鏡）
0.1nm 可選
距離測量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK時
（20°±0.5°） 真空中時
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測量分辨率：
0.6nm （角隅反射鏡）
0.3nm （平面反射鏡）
0.1nm 可選
線性度測量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK時
（20°±0.5°） 真空中時
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測量精度：
±0.5ppm實測值
角度測量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
角度測量精度：
±0.1ppm實測值
平面度測量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
平面度測量精度：
±0.2%實測值
±0.05 弧度/米運行距離
直線度測量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
直線度測量精度：
±0.5%實測值，2m行程
± 2.5%實測值，10m行程
垂直度測量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
垂直度測量精度：
±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒*
數據接口：
積分信號
32 Bit （實時時間）
Dt » 20 ns
數據分析標準：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環境：
溫度：15°C-30°C
濕度：<90%無冷凝
儲存環境：
溫度：10°C-40°C
濕度：<95%無冷凝

與歐洲某品牌激光干涉儀的參數對比
　
耶拿爾干涉儀
歐洲某品牌
　
型M700
型號：XX-XX
工作原理:
雙頻激光干涉原理（外差式, 頻差640MHz）
單頻零差式激光干涉原理，采用遠程干涉測量法
波長:
632.991nm
632.991nm
激光輸出功率:
<1mW Class II （可選 Class 3R）
<1mW Class II
1小時內穩頻精度:
0.002ppm
0.04ppm
產品壽命內穩頻精度:
0.02ppm
0.1ppm/年
壽命:
約20000小時
約8000小時
穩定工藝:
溫度穩定法（對兩種模式進行比較，外差式）
零差式（1種模式）
激光束直徑:
6mm （可選3.2mm）
6mm
每束激光可測量的軸數:
1-6
1
測量范圍
　
　
距離 :
0...40m，可選120m
0...40m，可選80m
角度:
± 15°，軸線范圍20m
± 5° ，軸線范圍15m
直線度:
0-2m 或 0-10m
0.1-4m 或 1-30m
垂直度:
0-2m 或 0-10m
0.1-4m 或 1-30m
分辨率
　
　
距離 （使用角隅反射鏡） :
0.6 nm，速度v= 4m/s
1nm，速度v=4m/s
　
0.3 nm，速度v= 2m/s
　
　
0.1 nm，速度v= 1m/s
　
角度:
0.003角秒（0.015µrad）
0.1µrad
直線度（短距離）:
7nm
10nm
垂直度（短距離）:
7nm
10nm
直線度（長距離）:
36nm
100nm
垂直度（長距離）:
36nm
100nm
精度
　
　
距離:
+/-0.4ppm
+/-0.5ppm
角度:
+/-0.1ppm
+/-0.6%實測值
直線度（短距離）:
+/-0.5%實測值
+/-0.5%實測值
垂直度（短距離）:
+/-0.5%實測值
+/-0.5%實測值
直線度（長距離）:
+/-2.5%實測值
+/-2.5%實測值
垂直度（長距離）:
+/-2.5%實測值
+/-2.5%實測值
光學鏡（直線度用）:
差分干涉鏡
無（僅使用一個Wollaston棱鏡）
系統的線性度:
非常好（這是因為使用了差分干涉鏡）
不明（取決于Wollaston棱鏡質量）
可測量到的偏差范圍
　
　
直線度:
+/- 5mm
+/-2.5mm
垂直度:
+/- 5mm
+/-2.5mm
輔助調節:
計算機輔助調節
小孔
接口:
PCI
USB
　
cPCI （PXI）
　
　
USB
　
　
AquadB （積分信號）
　
　
32bit實時
　
采樣速度:
 0.001Hz - 1MHz （可調）
50 kHz

ZLM700部分應用的光路圖


雙頻激光干涉儀 

 

關鍵詞：激光干涉儀
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