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350度高溫充氮烘箱，晶圓清洗烘干箱

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產品型號PHH-270

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更新時間：2017-11-18 22:51:22瀏覽次數：554次

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上海旦順實業有限公司

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產品簡介

350度高溫充氮烘箱，晶圓清洗烘干箱

詳細介紹

350度高溫充氮烘箱，晶圓清洗烘干箱

一、高溫充氮潔凈產品特點：

1.箱體周身做密閉氬弧焊接，耐高溫硅膠迫緊；

2.選用優質不銹鋼板材，防止產生PARTICLE；

3.安裝氮氣控制裝置，箱體可以接入氮氣使箱內潔凈；

4.SUS304＃不銹鋼無塵化電熱產生器，防機臺本身產生微塵；

5.120K級高密度硅酸鋁纖維填充，箱體內部高達350度外部不超過45度

6.特殊結構設計，含氧量：＜500PPM

二、主要技術參數

2.1產品名稱：潔凈充氮烤箱

2.2產品型號：PHH-270

2.3 電源：AC380V 50HZ

2.4 功率：6.5Kw

2.4 規格尺寸：工作尺寸（mm）：W600×H900×D500

外部尺寸（mm）：W980×H1620×D760

2.5 溫度范圍：常溫+30～350℃

2.6 含氧量：＜500PPM

2.7 均勻性能：±2.0%(空箱測試)

2.8箱體結構：

機臺結構：溫控器位于箱體頂部，特殊門設計。

內壁材質：內膽材料，采用 SUS1.5mm厚度優質不銹鋼鋼板，周身做密閉氬弧焊接。

外部材質：外部采用1.2mm厚度冷扎碳鋼板，經防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷。

保溫材質：120K級高密度硅酸鋁纖維填充，保溫層厚度為120mm。

2.9 電氣系統：

控溫方式：訊號來源，采用 PT100 鉑電阻感應棒±0.5%。

溫控裝置：日本富士智能程序溫控儀表， LED數字顯示及設定、P.I.D自動演算、時間定時。

溫控輸出：SSR輸出

氮氣控制裝置：氮氣流量計，氮氣進出口。　　

2.10 電加熱器：采用覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化U型管狀（不銹鋼SUS304#）電熱發生器

2.11 完善的安全保護措施：漏電斷路器/超溫保護/開門氮氣自動中斷保護/馬達過載電流保護

潔凈烘烤箱：傳真: : ,：周高超；

: ：蔣鑫,參考：http://www.done-e.com.

350度高溫充氮烘箱，晶圓清洗烘干箱

關鍵詞：溫控裝置流量計加熱器

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