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干式渦旋真空泵，12.2升/小時，0.007毫巴

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產品簡介

產品介紹ProductDescriptionTXSL渦旋式真空泵是一款無油、潔凈的真空泵，采用了當今世界上zui的波紋管屏蔽結構，使壓縮腔與軸承實現隔離，并采用更少的軸承，讓泵更加安靜可靠，同時可抽除無腐蝕性有機溶劑，具備更強的水汽處理能力

詳細介紹

產品介紹 Product Description

TXSL渦旋式真空泵是一款無油、潔凈的真空泵，采用了當今世界上zui

的波紋管屏蔽結構，使壓縮腔與軸承實現隔離，并采用更少的軸承，讓泵

更加安靜可靠，同時可抽除無腐蝕性有機溶劑，具備更強的水汽處理能力。

TXSL渦旋式真空泵配備了獨立控制器，使泵更加智能化，可實現根據終端用戶

工藝對泵進行調速、限流、穩壓等控制功能。由于采用渦旋式壓縮及頂密封結

構，因此該泵不適用于抽除易燃、易爆、含有強腐蝕性及顆粒的應用領域。

工作原理 Working Principle

Step1. 吸氣，并將空氣全部封閉在容積腔內，壓縮開始;

Step2. 繼續向容積腔中心點逐步壓縮；

Step3. 將空氣壓縮至容積腔中心點，即將開始排氣；

Step4. 完成排氣，一個完整壓縮過程結束；

應用領域 Application

質譜分析（GCMS/LCMS/ICPMS、真空檢漏、表面分析）；電子顯微鏡（電子加速器、電子顯微鏡）；高能物理研

究（光束線、加速器、微波系統、激光引導）；工業應用（凍干機、干燥箱、手套箱、真空鍍膜、真空脫泡、真空脫

氣、真空包裝、真空灌注、冷媒灌注、特殊氣體循環、SF6回收、穩壓自動化等）；電子半導體（分子泵的前級泵、

碳化硅生長爐、真空排氣臺、等離子清洗、特殊氣體回收等）；實驗室應用（真空實驗裝置、分子泵前級泵等）；太

陽能光伏（退火爐、長晶爐等）；醫療設備（呼吸式癌癥檢測儀、質子重離子、等離子滅菌等）；生物化學研

究（蛋白質水分離、凝膠干燥、溶劑回收、真空過濾/萃取等）；航天研究（空間環境模擬等）；工業自動化定制；

關鍵詞：真空泵電子顯微鏡顯微鏡手套箱生長爐

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