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1200℃雙管滑道式CVD系統

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產品型號KJ-1200T

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廠商性質生產商

所在地鄭州市

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更新時間：2025-05-12 10:50:10瀏覽次數：76次

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鄭州科佳電爐有限公司

經營模式：生產廠家

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產品簡介

產品介紹：該系統是一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究

詳細介紹

產品介紹：
該系統是一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻。

應用范圍：
廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。

技術參數：

產品名稱	1200℃雙管滑道式CVD系統
部分： 1200度滑道雙管雙溫區管式爐
產品型號	1200度滑道管式爐
爐管尺寸	雙石英管外管：OD 100 x ID 96 x 1400 mm 內管：OD 80 x ID 75 x 1800 mm
加熱區	220+220mm
供電電源	230V，單相，50HZ
功率	4.0 kw
加熱元件	電阻絲
升溫速率	0-20°C/min
熱電偶	K型
第二部分：水冷系統
法蘭	1.水冷機 CW-3000 2.水冷，密封雙管的真空法蘭：允許反應氣體通過兩管之間（10mm間隙）發生反應，冷卻氣體直接通入內管.
第三部分真空系統
真空系統	1. 防腐數顯真空計 2. VRD-16旋片泵，抽速4L/S,含擋板閥 KF25接口，波紋管和箱體
第四部分混氣系統
質量流量計量程： MFC 1: 0~10 sccm MFC 2: 0~200 sccm MFC 3: 0~10 slm MFC 3: 0~10 slm .......

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