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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


石墨烯生長爐PECVD設備

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產(chǎn)品型號KJ-T1200-S60LC-H2

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地鄭州市

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更新時間:2025-05-12 11:38:26瀏覽次數(shù):93次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹:KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計氣路系統(tǒng)、等離子電源系統(tǒng)組成

詳細介紹

產(chǎn)品介紹:
 KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計氣路系統(tǒng)、等離子電源系統(tǒng)組成。可適用于石墨烯生長等。

主要功能和特點:
1、PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等;
2、真空系統(tǒng)由旋片真空泵和進口數(shù)顯真空計組成,真空可達10Pa;
3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計,流量顯示儀等組成,實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制;觸屏操作,操作簡單方便。
4、采用KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;管路采用世界卡套連接,不漏氣;

設備主要技術參數(shù):

產(chǎn)品名稱 石墨烯生長爐PECVD設備(CE認證)
開啟式滑軌管式爐部分
產(chǎn)品型號 KJ-T1200-S60LC-H2
爐管尺寸 Φ60mmX1600mm
加熱區(qū) 300mm
工作溫度 1100℃
溫度 1200℃
溫控方式 K型熱電偶
控制方式 溫度控制系統(tǒng)采用觸屏操作,人工智能調(diào)節(jié)技術,具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制 30 段升降溫程序;
控溫精度 ±1℃
溫控保護 具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率 0-20ºC/min  ,建議10ºC/min
加熱元件 含鉬電阻絲
工作電壓 AC 220V 單相 50HZ 
加熱功率 3KW
爐膛材料 氧化鋁多晶纖維
密封系統(tǒng) 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好。
爐體結(jié)構(gòu) 滑軌結(jié)構(gòu),可以實現(xiàn)快速降溫
爐  管 石英爐管
   
                     真空系統(tǒng)部分
名稱 真空系統(tǒng)
主要參數(shù)
  1. 采用旋片真空泵和進口數(shù)顯真空計組成,真空度可達10Pa
  2. KF25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連;
  3. 進口數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為5×10-5-1500mbar,測量精度可達0.1mbar,測量不同氣體種類不需要系數(shù)轉(zhuǎn)換
 
氣路系統(tǒng)部分
名稱 四路質(zhì)量流量計
主要參數(shù) 四通道精密質(zhì)量流量計:觸屏控制,數(shù)字顯示。流量范圍流量范圍:
1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可調(diào)
2.一個混氣罐
3.4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動控制4種氣體;
4.進出氣口:4進1出
流量控制:手動旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié)
連接方式:雙卡套連接
等離子電源部分
名稱 500W等離子電源
功率范圍 0-500W(連續(xù)可調(diào))
工作頻率 13.56MHZ+0.005%
工作模式 連續(xù)輸出
功率穩(wěn)定度 ≤2W
反射功率 70W
電源保護設置 DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護
供電電壓/頻率 單相交流(187V-253V)50-60HZ
冷卻方式 風冷
整機重量 13.5KG
隨機贈送 石英管1支、坩堝鉤、爐塞、密封圈、水冷機、硅膠管、內(nèi)六角扳手、說明書、保修卡等
售后服務 整機質(zhì)保一年,終身保修(加熱元件、密封圈等隨機贈送配件不屬于質(zhì)保范圍)
 

 

 

 

 1、我公司對所供設備提供質(zhì)保一年保修服務(易損件除外),在保修期內(nèi)因設備質(zhì)量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。

 

 


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