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Gasfaver 高溫超純氣體擴散器

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更新時間：2025-06-07 13:10:09瀏覽次數(shù)：3次

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上海飛潮科貿(mào)有限公司

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產(chǎn)品簡介

Gasfaver 高溫超純氣體擴散器

詳細介紹

Gasfil系列擴散器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計。Gasfil擴散器結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，過濾精度達0.003μm。的濾材結(jié)構(gòu)設(shè)計，在保證過濾效率的同時，也避免引起湍流，對工藝室環(huán)境造成影響，防止吹起顆粒或甚至吹起硅片。

產(chǎn)品特色

• 減少工藝腔體排氣時的湍流

• 適用于多種工藝氣體

• 潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

• 99% 完整性測試通過

• 99% 氦氣泄露檢測通過

關(guān)鍵詞：高效過濾器

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