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上海飛潮科貿有限公司
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Gasfil高溫超純氣體過濾器
Gasfil系列超純氣體過濾器，采用整體316L不銹鋼結構，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用進行設計，過濾精度可達0.003um。整體金屬結構，是理想的高溫、動態高壓應用過濾選擇。
產品特色
• 整體316L不銹鋼結構
• 超高顆粒攔截效率，高通量、低阻力
• 適合高溫應用
• 結構緊湊
• 適用于多種工藝氣體
• 潔凈室環境內制造、測試、包裝
• 99%完整性測試通過
• 99%氦氣泄露檢測通過
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