Tetra-100-LF型 等離子清洗/刻蝕機
l 真空艙體 W400 mm × H400 mm × D625 mm （100 升）
外形尺寸W600mm ×H1800mm ×D1000mm
l * 分層（zui多到10層） 電極-托盤
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發生器
* 高效針孔電極
* 雙氣路，針閥
* 全自動控制
* 功率連續可調 0-2500W
* 自動阻抗匹配
* 電磁閥保護，回流油霧不能進入艙體
* 規格：W600 mm×H2200 mm× D800 mm
* 電源：AC 380V/50Hz
l 選裝件
* 13.56 MHz 射頻發生器 * 2.45 GHz 射頻發生器 * 旋轉圓筒艙體（適用于處理顆粒狀樣品）
l 配件選裝指南
· 13.56MHz射頻發生器 · 2.45GHz射頻發生器 · 半自動控制系統 · 全自動控制系統- 操作輕松簡便的控制系統
· 計算機（PC）控制系統 - 操作輕松簡便的控制系統同時可記錄處理的整個過程 · 附加氣體通路 · 自動真空艙門 · 設備自動門
· 條碼閱讀器 · 偏壓測量系統 · 碟型閥 · 排氣過濾系統 · 適用于腐蝕性氣體系統 · 艙體托盤可訂做 - 適合艙體的*尺寸
· 粉末處理裝置 · 法拉第容器 · 氣體供給系統 - 在等離子聚合過程中提供密度均勻的單體 · 玻璃艙體（硅酸鹽或石英）
· 預熱板 · 等離子測量傳感器 - 應用在等離子聚合過程和含腐蝕性環境中 · 真空泵抽氣入口過濾器 · 標簽打印機 · 標簽閱讀機
· 加深艙體 · 單體瓶- 輕松的控制不穩定的液體含量 · 網絡連接系統 · 聚合處理附件 · 氣瓶出氣減壓閥 · 石英玻璃皿
· 卷軸艙體系統- 適用于批量處理薄膜、箔等 · RIE電極（適用于刻蝕） · 旋轉艙體系統 - 適用于纖維、紡輪、顆粒狀等樣品的均勻、批量處理
· 安全閥
· 服務條約- 使用易燃、易爆性氣體，例如：氫氣、乙炔…
· 附加的配件
· 特殊的電極和托盤
· 特殊法蘭/附加法蘭
· 特殊軟件
· 特殊真空艙體
· 過程溫度測量
· 測試墨水（用于測試表面接觸角） · 真空泵系統
