在真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)計(jì)算中，人們把直接對(duì)真空容器進(jìn)行抽空的真空泵叫做主泵，而把維持另一個(gè)泵的前級(jí)壓力在臨界前級(jí)壓力以下的真空泵叫做前級(jí)泵。為了使被抽容器中從大氣壓力開(kāi)始很快地抽到主泵能夠開(kāi)始工作的壓力的真空泵，叫做預(yù)抽真空泵。對(duì)一個(gè)真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，常常把系統(tǒng)的前級(jí)泵兼做預(yù)抽真空泵。雅之雷德這里說(shuō)的選泵，是指選擇主泵。關(guān)于配泵，狹義的講，是指正確地為主泵匹配好合理的前級(jí)泵，廣義而言，則包括選擇前級(jí)泵和預(yù)抽泵。好凱德真空系統(tǒng)中的核心設(shè)備是真空泵，真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中關(guān)鍵步驟是選泵與配泵。
選泵的具體內(nèi)容，就是要確定主泵的類型，決定主泵的大小。選泵的原則是工藝上可靠，經(jīng)濟(jì)上合理，技術(shù)上*，系統(tǒng)上*，形式上藝術(shù)。
確定主泵類型，首先要考慮的是可行可靠問(wèn)題，應(yīng)該依據(jù)好凱德真空泵所要達(dá)到的極限真空度和工作真空度(選取主泵的極限真空度比真空室的極限真空度稍高)，根據(jù)被抽氣體種類，每種氣體所占比例，以及氣體中夾雜灰塵等情況，選擇符合工藝要求的真泵空。當(dāng)兩種以上的不同類型泵都適合上述條件時(shí)，則要根據(jù)初次投資和日常維護(hù)費(fèi)用等經(jīng)濟(jì)指標(biāo)，選擇經(jīng)濟(jì)上合理的真空泵。然后，再進(jìn)一步比較環(huán)境等條件，選取zui的。為此，必需從整套真空系統(tǒng)出發(fā)，全面考慮，切不可僅僅作真空泵的比較就給予確定。
決定主泵大小，是根據(jù)真空室在工作時(shí)所需要的工作壓強(qiáng)和室內(nèi)的zui大排氣量。真空室內(nèi)的工作壓強(qiáng)一定要選在主泵的zui抽速壓強(qiáng)范圍之內(nèi)。另外，還要考慮真空室的大小和抽氣時(shí)間，因?yàn)樵诔闅鈺r(shí)間一定條件下，若真空室體積越大，則主泵的抽速也越大。
會(huì)員1.png)