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行業(yè)產(chǎn)品

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東莞市雅之雷德機(jī)電科技有限公司

微型隔膜真空泵

當(dāng)前位置：東莞市雅之雷德機(jī)電科技有限公司>公司動(dòng)態(tài)>半導(dǎo)體行業(yè)中進(jìn)口真空泵機(jī)組的組合

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：3000條

所在地區(qū)：廣東東莞市

聯(lián)系人：何先生 （銷售經(jīng)理）

公司動(dòng)態(tài)

半導(dǎo)體行業(yè)中進(jìn)口真空泵機(jī)組的組合

閱讀：131發(fā)布時(shí)間：2016-11-25

在半導(dǎo)體行業(yè)中都是采用好凱德羅茨真空泵與干泵組成的真空機(jī)組，一方面可以減少干泵的尺寸，另一方面可以在中真空范圍內(nèi)獲得較大的抽速。由于好凱德羅茨真空泵的軸承和同步齒輪都需要潤(rùn)滑，這潤(rùn)滑油會(huì)對(duì)真空工藝造成污染。雅之雷德解決的辦法是在齒輪箱的端蓋上外接一段真空管路，并用另一臺(tái)輔助進(jìn)口真空泵將齒輪箱內(nèi)的壓力抽到低于羅茨泵的入口壓力。

這樣，在這個(gè)壓力梯度下，齒輪箱內(nèi)油蒸汽就不會(huì)通過(guò)迷宮式軸封而進(jìn)入泵腔造成污染。另外當(dāng)好凱德羅茨真空泵抽除有害氣體時(shí)，要求電機(jī)傳動(dòng)軸的密封不能泄漏，因而出現(xiàn)了屏蔽電機(jī)羅茨泵，確實(shí)做到了零泄漏。


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