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東莞市雅之雷德機電科技有限公司

微型隔膜真空泵

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制氧、微電子系統用真空泵油

閱讀:215發布時間:2017-6-16

   全氟聚醚油,英文簡稱PFPE。它由碳、氧、氟原子組成,屬于耐腐蝕性氣體真空泵油分類中的ISO-6743A—1987\DVBDVDDVF類油品.該真空泵油碳氫鍵中的氫原子全部為氟原子取代,由其分子結構特點決定,具有的熱穩定性、化學惰性、不燃性。當受到電子或離子轟擊時,不產生聚合物,不與活性氣體反應,具有優良的氧化安定性,熱穩定性、化學試劑的惰性和不燃性。具有優良的抗臭氧、能夠在VF6FPH3AsH3及其它鹵素化合物(BF3BCIPCI3TiCI4SnCI4 SiCI4)等酸性氣體存在的環境中保持穩定。甚至在高溫下也有一定的抗腐蝕作用。與常規的真空泵油比較可在長時期內保持優良的性能。

   該類真空泵油為無色透明的液體,密度較大(可達1.95g/cm3,20℃時) 、粘度指數高、表面張力低、折射率低、傾點低。可用于有制氧系統和有腐蝕氣體的半導體系統和強輻射的場合。

   豪可德商城品牌有:英國愛德華;德國Leybold等。

   用途:主要用于潤滑渦輪分子泵軸承,可用于超凈和安全的真空系統,如掃描發射電子顯微鏡、質普儀、粒子加速器、有腐蝕性氣體的微電子真空系統。還可以用作擴散泵工作液。


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