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低溫等離子反應原理 

低溫等離子是通過高頻電壓電廠產生的低溫等離子體，在放電過程中，電子從電場獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能和動能，這些獲得能量的份子被激發或生電離形成或許基因，同時空氣中的氧氣和水分子在高能電子的作用下也可以產生大量的新生態氫、活性氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發了一系列的復雜的物理和化學反應。從等離子體的活性基因組成可以看出，等離子體內部富含化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量團活性基因團發生反應，最終轉化為二氧化碳和水等物質，從而達到凈化廢氣的目的。