隨著地埋式污水處理設備的應用與發展，其工藝流程不斷得以改進，變得更加緊湊，提高了處理效率改進的工藝流程，而工藝流程的改進主要著眼于提高處理效率、減少占地和降低能耗流程的改進，下面，我們就來簡單了解一下這三個方面。
1、以酸化池代替原來的初沉池和污泥池，酸化池和調節池可以倒一體化設備的產泥量較少，沉淀池的污泥可以回流到酸化池中。酸化池的作用包括三個方面：其一，污水中的大分了有機物經過水解酸化可以分解為小分了有機物，提高可生化性。其二，回流污泥既可以提高酸化池的微生物濃度，又具有一定的生物絮凝功能，初步絮凝沉淀部分懸浮或膠體污染物，降低后續生化池的負荷。其三，回流污泥在水力白重作用下壓縮，同時污泥在酸化池中可以得到一定的消化，進一步減少污泥體積。
2、由原來的普通沉淀池發展為斜管沉淀或過濾池普通沉淀池的污水上升流速一般為0.1-0.5mm/s，而斜管(板)沉淀池污水上升流速可以達到為0.3-0.5mm/s，其表面負荷為普通沉淀池的3-5依過濾池可以采用輕質濾料。
另外，近年來，高效絮凝劑的不斷發展促進了物化工藝在污水處理中的應用，污水處理趨于物化與生化工藝相結念化學絮凝劑可以強烈吸附水中的懸浮物與膠體，可以進一步減少生化處理時間，從而更大限度減少占地面機已有部分單位開始了物化莊化相結合的一體化設備研發和應用。
