SMC電磁閥氣密性造成的故障執行機構的氣密性造成的故障表現為響應時間增大，閥桿動作呆滯。分析如下：
1.氣動薄膜執行機構的膜片未壓緊。膜片未壓緊或受力不均勻造成輸入的氣信號外漏，使執行機構對信號變化的響應變得呆滯，響應時間增大。如果安裝了閥門定位器，則其影響會減小。故障處理方法是用肥皂水涂刷檢查，并消除泄漏點o
2.氣動活塞執行機構的活塞密封環磨損。造成調節閥不能快速響應，閥桿動作不靈敏。故障處理方法是更換密封環，并檢查汽缸內壁有否磨損。
3.氣動薄膜執行機構的膜片破損。表現為閥桿動作不靈敏，可聽到氣體的泄漏聲。故障處理方法是更換膜片，并應檢查限位裝置或托盤是否有毛刺等o
4.連接管線漏氣。造成閥桿動作不靈敏，響應時間增大。故障處理方法是用肥皂水涂刷連接管線，檢查泄漏點，并更換或焊接。
SMC電磁閥閥桿的跳動分析如下：
1. 填料材質不合適。由于填料材質不合適造成的故障主要是外泄漏量增大及摩擦力增大例如，在高溫應用場合，采用聚四氟乙烯填料。故障處理方法是更換填料。
2.填料結構設計不當．o填料腔內，填料和有關附件的位置安裝不合適，填料高度不合適故障處理方法是按產品說明書要求安裝填料和有關附件。
3.填料安裝不合適。例如，石墨填料采用螺旋式安裝造成填料壓緊力不均勻，中心沒有對準等。故障處理方法是按層安裝，使壓緊力均勻。
4.填料有雜物。填料內的雜物造成閥桿劃跡。故障處理方法是對填料進行清潔，除去雜物
5. 上閥蓋安裝不當。上閥蓋安裝不當使填料受力不均勻。故障處理方法是重新安裝上閥蓋的墊圈，并對上閥蓋固緊螺栓平均地用對角方式壓緊o