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上海添時科學儀器有限公司


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3靶等離子濺射儀--VTC-16-3HD

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產品型號

品       牌

廠商性質0

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更新時間：2022-05-03 10:20:40瀏覽次數：261次

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商鋪產品：1313條

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聯系人：徐鰲 （經理）

產品簡介

VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），基片Z大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

詳細介紹

技術參數

輸入功率

  • 110V / 220V 通用
  • < 2000W (含真空泵)

輸出功率

  • 1600VDC
  • 大電流50mA 

樣品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height

加熱樣品臺

  • 一個外徑50 mm 的樣品臺, 可以移動三個位置 
  • 基片可以放在樣品臺上. 加熱溫度 500°C
  • PID控溫方式和觸摸屏面板，控溫精度+/-10°C 
  • 長濺射時間不可超過5分鐘

控制面板

  • 控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏
  • 一個控制面板可以控制所有的參數,包括真空度 , 電流 , 靶材位置 和 基片加熱溫度

可選
 

 

  • KF25 真空接口、卡箍，和600mm長不銹鋼波紋管
  • 120L/M旋片式真空泵（包含在儀器內）
  • 不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
  • 各種高純度金屬靶
  • 需要一個帶壓力調節器的氬氣瓶 （這個我們不提供）

進氣口

 一個精密可調針閥安裝在進氣口，以實現方便的調節進氣量



靶材

 

 

標配靶材分別有

  • 金，銀，銅 靶材: 
  • 尺寸: 金靶  47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs

         銀靶  47 mm dia. x 0.5 mm,  1pcs

         銅靶  47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs

  • 可選靶材點擊鏈接、
    Pt , Ag target , Zinc tarhetD

 外形尺寸
 

 

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
  • 凈重:50KG

質保期

一年質保期，相關耗材除外，終身維護。

質量認證

   Certified

 


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