東莞市普諾克真空科技有限公司專門為企業、工廠提供真空壓合系統 真空系統安裝與設計。并提供上門維護和保養,滿足企業,工廠各種真空方面的需求。普諾克專業提供真空系統制成解決方案及應用。
真空系統參數
型號:PNK VS 600-300
抽速:300m3/h
極限壓力:0.1(15)mbar
緩沖罐體:600L
電機功率:7.5Kw
尺寸:1650×700×1500mm
真空抽氣接口尺寸數量:12×6
真空系統的組成:
1.抽氣設備:例如各種真空泵;
2.真空閥門;
3.連接管道;
4.真空測量裝置:例如真空壓力表、各種規管;
5.其它元件:例如捕集器、除塵器、真空繼電器規頭、儲氣罐等。
真空系統的特點為:
1.低噪音、低振動。
2.空氣冷卻,方便容易。
3.在高溫環境下仍良好運作。
4.在低真空壓力下仍保持良好抽氣速度。
5.內置濾心和過濾器,可達高度過濾效果。
6.內置單向閥門,防止真空油逆流。
7.結構簡單,體積小,節省空間。
8.多功能概念,可配合客戶的特別配置。
9.容易保養。
降低真空壓合系統 真空系統漏氣率的措施:
1.真空系統的結構
真空系統的結構是影響真空系統密封性和系統漏氣率的關鍵,真空系統的結構合理與否,將直接影響系統的密封性和系統的漏氣率。
(1)盡可能地避免出現小曲率半徑的死角,要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。
(2)抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道,采用圓弧過渡,使氣路暢通無阻,但要考慮清洗清掃的方便性。
(3)認真設計真空室內各種連接件的結構,使氣路暢通,避免氣路堵塞。
(4)打磨拋光真空系統內表面,表面越光亮就越不易氣體吸附,越容易獲得真空。
(5)盡可能減小真空室的體積,縮短管路系統。
2.密封形式的選擇
密封形式可根據所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式,對于人工晶體生長設備,一般需要的真空度在lO-3Pa以下,因此,無需采用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例,我們選擇磁性流體密封作為旋轉動密封,選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封,小直徑軸的旋轉密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封,各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式,直徑壓縮比為25%。
密封件材質的選用:真空度在lO-3Pa以下的真空系統,密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是,考慮到實際工作條件的需要(真空室內溫度高可達2300℃,密封部位進行水冷后,其溫度在80℃左右,個別處溫度可達100℃以上)。所以,要選擇比較理想的密封圈材料。
用于真空密封橡膠材料,除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外,還要求有低的滲透率和出氣率,良好的耐熱性耐油性,同時要有一定的強度、硬度和彈性等。
3.靜密封結構的選擇
各種真空系統中,80%以上的密封為靜密封,靜密封效果的好壞,對系統的真空度及漏氣率有很大的影響。因此,要對靜密封結構進行認真設計,以達到理想的效果。
對靜密封結構的設計,主要考慮如何選擇主要密封面、如何減小殘留氣體及如何充分發揮橡膠密封圈功能。
無論是矩形密封槽、燕尾型密封槽還是梯形密封槽,其槽底較小的粗糙度容易獲得為主要密封面,而其側面則較小的粗糙度往往不易獲得。同時,為了消除殘留氣體,在存在殘留氣體處設計了貫通孔,使系統內部各處暢通無阻。