對于有毒、有害，而且不需要回收的VOC，熱氧化法是比較適合的處理技術和方法。氧化法的基本原理：VOC與O2發生氧化反應，生成CO2和H2O，化學方程式如下：
從化學反應方程式上看，該氧化反應和化學上的燃燒過程相類似，但其由于VOC濃度比較低，在化學反應中不會產生肉眼可見的火焰。一般情況下，氧化法通過兩種方法可確保氧化反應的順利進行：
a）加熱。使含有VOC的有機廢氣達到反應溫度；
b）使用催化劑。如果溫度比較低，則氧化反應可在催化劑表面進行。
所以，有機廢氣處理的氧化法分為以下兩種方法：
a）催化氧化法。現階段，催化氧化法使用的催化劑有兩種，即貴金屬催化劑和非貴金屬催化劑。貴金屬催化劑主要包括Pt、Pd等，它們以細顆粒形式依附在催化劑載體上，而催化劑載體通常是金屬或陶瓷蜂窩，或散裝填料；非貴金屬催化劑主要是由過渡元素金屬氧化物，比如MnO2，與粘合劑經過一定比例混合，然后制成的催化劑。
為有效防止催化劑中毒后喪失催化活性，在處理前必須*清除可使催化劑中毒的物質，比如Pb、Zn和Hg等。如果有機廢氣中的催化劑毒物、遮蓋質無法清除，則不可使用這種催化氧化法處理VOC。
b）熱氧化法。熱氧化法當前分為三種：熱力燃燒式、間壁式、蓄熱式。三種方法的主要區別在于熱量回收方式。這三種方法均能催化法結合，降低化學反應的反應溫度。
熱力燃燒式熱氧化器，一般情況下是指氣體焚燒爐。這種氣體焚燒爐由助燃劑、混合區和燃燒室三部分組成。其中，助燃劑，比如天然氣、石油等，是輔助燃料，在燃燒過程中，焚燒爐內產生的熱混合區可對VOC廢氣預熱，預熱后便可為有機廢氣的處理提供足夠空間、時間，實現有機廢氣的無害化處理。
在供氧充足條件下，氧化反應的反應程度--VOC去除率--主要取決于“三T條件”：反應溫度（Temperat）、時間（Time）、湍流混合情況（Turbulence）。這“三T條件”是相互的，在一定范圍內，一個條件的改善可使另外兩個條件降低。熱力燃燒式熱氧化器的缺點在于：輔助燃料價格高，導致裝置操作費用比較高。
間壁式熱氧化器指的是在熱氧化裝置中，加入間壁式熱交換器，進而把燃燒室排出氣體的熱量傳送給氧化裝置進口處溫度比較低的氣體，預熱完成后便可促成氧化反應。現階段，間壁式熱交換器的熱回收率高可達85%，因此大幅降低了輔助燃料的消耗。
一般情況下，間壁式熱交換器有三種形式：管式、殼式和板式。由于熱氧化溫度必須控制在800℃～1 000℃范圍內，因此，間壁式熱交換必須由不銹鋼或合金材料制成。所以間壁式熱交換器的造價相當高，而這也是其缺點所在。此外，材料的熱應力也很難消除，這是間壁式熱交換的另外一個缺點。
蓄熱式熱氧化器，簡稱為RTO，在熱氧化裝置中計入蓄熱式熱交換器，在完成VOC預熱后便可進行氧化反應。現階段，蓄熱式熱氧化器的熱回收率已經達到了95%，且其占用空間比較小，輔助燃料的消耗也比較少。由于當前的蓄熱材料可使用陶瓷填料，其可處理腐蝕性或含有顆粒物的VOC氣體。
現階段，RTO裝置分為旋轉式和閥門切換式兩種，其中，閥門切換式是比較常見的一種，由2個或多個陶瓷填充床組成，通過切換閥門來達到改變氣流方向的目的。
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