純水設備的主要工藝流程：

1. 反滲透純水設備的工藝流程

自來水箱--提升泵--多介質過濾--活性碳過濾--軟水過濾--反滲透主機--純水箱

2. 雙級反滲透純水設備工藝：

自來水箱--提升泵--多介質過濾--活性碳過濾--軟水過濾--一級反滲透主機--中間水箱--高壓泵--二級反滲透主機--純水箱

3. 離子交換純水設備的工藝：

自來水箱--提升泵--多介質過濾--活性碳過濾--陽床--陰床--純水箱

上述工藝并不是*固定的，也需要根據水源的水質做靈活的變動。

制藥純化水系統具有一定的清洗條件，要求制定明確的洗滌計劃，內容應包括洗滌方法、洗滌周期以及關鍵部件的清洗驗證。在清洗過程或者清洗后檢查，應當做好相關記錄并保存妥當。對無菌設備進行清洗，尤其是直接與藥品接觸的部位或者部件必須進行滅菌處理，注意標注滅菌日期，如要必要，需進行微生物學驗證。這些經過滅菌的設備應在三日內使用。一些可移動的設備可轉移到專門的清洗區域進行清洗、消毒和滅菌。

制藥純化水系統停運清洗維護，要求先按照正確的操作流程對設備停運，然后再進行低壓沖洗。建議對系統化學清洗和消毒一次，并且在清洗完畢后用反滲透產水低壓沖洗系統，直至濃水電導率和進水電導率相同。使用RO系統生產的純水和亞硫酸氫鈉配置成保護液，利用化學清洗系統對膜元件進行清洗。處理時，應將壓力容器中的空氣排出，并且讓保護液*浸潤膜元件，以預防膜元件因長期停用而導致其干燥。關閉所有的進水閥和出水閥，以避免空氣進入系統而導致保護液失效。