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CMPA系列拋光液用高納污過濾濾芯

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更新時間:2022-08-28 11:56:55瀏覽次數:251次

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產品簡介

CMPA系列濾芯是適用于氧化物CMP、鎢CMP及銅CMP中塊狀顆粒以及膠體的過濾。采用分級處理、*的漸變孔徑深層過濾技術,實現分級過濾,使濾芯具有高納污空間。

詳細介紹


CMPA系列濾芯是適用于氧化物CMP、鎢CMP及銅CMP中塊狀顆粒以及膠體的過濾。采用分級處理、*的漸變孔徑深層過濾技術,實現分級過濾,使濾芯具有高納污空間,大大延長了濾芯的使用壽命。


產品特性

梯度過濾
濾膜孔徑由外到內逐漸減小,截留大顆粒,放行有效顆粒。增大了有效過濾面積,提高了納污量,從而延長了濾芯使用壽命

低析出

濾芯采用純PP材料,生產過程不使用膠粘劑和表面活性劑,有效控制了過濾過程中的析出問題。純PP結構保證了廣泛的化學相容性,適合多種液體過濾

可選多種精度、接口

可選0.5-90μm的多種過濾精度,滿足不同拋光液的工藝要求。長度、接口類型亦有多種規格提供選擇,可以配合不同類型的過濾器進行使用


應用領域

拋光液的過濾


材料結構

濾材:PP

外殼/中心桿/端蓋:PP


濾芯性能

工作溫度:80℃

工作壓差:4bar@21℃

2.4bar@80℃




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