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深圳恒才機電設備有限公司
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矩形超高真空插板閥為氣動驅動方式，外形上美觀，并具有動作平穩、沖擊振動小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優點，是半導體行業中真空設備自動化閥門之一。
一、矩形超高真空插板閥概述 此系列閥門為氣動驅動方式，在結構上設計合理，外形上美觀，并具有動作平穩、沖擊振動小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優點，是半導體行業中真空設備自動化閥門之一。閥門是以壓縮空氣推動氣缸為動力，通過傳動桿推（拉）動連桿機構，帶著驅動體沿軸向運動，驅動體通過擺桿與閥板連接并帶動閥板開啟及關閉動作。閥門的介質為空氣及非腐蝕性氣體。 二、矩形超高真空插板閥特點 采用多擺桿均勻分布支撐結構，閥板受力均勻，閥門開啟沖擊振動小，噪聲低； 四滾輪支撐運動機構，動作平穩，運動噪聲小； 動密封采用波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，密封可靠； 閥體采用不銹鋼內部焊接，漏率小； 在更小的體積上，一次性通過更多的工件，合理使用了空間。
三、矩形超高真空插板閥參數
類型： 插（閘）板閥
驅動方式： 氣動
閥體材料： 不銹鋼
適用真空： 高真空
適用范圍：：1×10-6Pa～1.2×105Pa
打開時插板上的壓差：≤2×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率：<>
保養循環次數：10，0000次
閥體烘烤溫度：≤150℃
安裝位置：驅動體水平或垂直
電源：交流220V 50Hz 6W或直流 24V 3W（特殊規格可定做）
壓縮空氣：0.5～0.7MPa
閥門開啟或關閉時間：根據公稱通徑而定
閥門位置指示：帶有啟閉位置指示開關（磁性開關）
閥門重量：以不同公稱通徑而定
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