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常州藍陽環保設備有限公司
主營產品： 活性炭再生設備,活性炭吸附催化燃燒,活性炭脫附催化燃燒 |
公司信息
| 參考價 | ￥ 85487 |
| 訂貨量 | 1 件 |
- 型號
- 品牌
- 廠商性質 生產商
- 所在地 常州市
在半導體芯片生產線制程工藝中，會產生大量的酸堿及VOCs有機污染物等有毒有害氣體。如果直接排放就會對大氣和人的身體健康造成較為嚴重的危害。
半導體芯片生產線廢氣介紹
廢氣成分：半導體芯片生產線廢氣主要包括酸堿廢氣和有機廢氣兩類。酸/堿廢氣包括：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。有機廢氣包括：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；
廢氣來源：在半導體芯片生產線造成環境污染的有害氣體，主要來源于芯片生產的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。
廢氣特點：半導體芯片生產線廢氣具有排氣量大、濃度小的特點。
主要危害：半導體芯片生產線對大氣的污染，主要是器件清洗等表面處理過程中因使用一些化學藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物）揮發造成對大氣環境的污染，以及整機裝配過程中產生的機械噪聲和少量粉塵也會造成環境污染，這些污染氣體會造成人群慢性或急性中毒。
半導體芯片生產線廢氣處理設備工藝
半導體芯片生產線廢氣處理，按照其廢氣處理工藝分為：酸性廢氣處理、堿性廢氣處理、有機廢氣處理等。
1、半導體芯片生產線廢氣處理設備酸堿性廢氣處理工藝工作原理：
（1）立式廢氣洗滌塔工作原理為氣液兩相逆流接觸；含酸性或堿性廢氣由塔下部進口進入塔內向上運動，通過單層或多層填料，廢（尾）氣與液相充分接觸后吸收或中和，干凈的氣體經過上層的除霧層排出，從而達到吸收和凈化效果；
（2）臥式廢氣洗滌塔的工作原理為氣液兩相交叉流接觸，酸堿廢（尾）氣通過填料層段時與液相充分接觸后吸收或中和，從而達到吸收或凈化的效果。
主要設備：
（1）洗滌塔設備樣式：洗滌塔的結構型式分為立式和臥式。
（2）洗滌塔設備組成：包括塔體、填料層、除霧層、循環水管路及循環水箱等。
（3）洗滌塔設備材料：廢氣處理設備以PP為主要材料生產，填料采用PP材質的鮑爾環。
工藝流程：
酸/堿性廢氣收集→酸/堿式洗滌塔→離心風機→煙囪（達標排放）
酸堿廢氣經過收集管道集中收集后按照各自的系統進入相應的化學洗滌塔進行噴淋處理，化學洗滌塔通過內部的噴淋系統、循環水系統、填料過濾系統、除霧系統、自動加藥系統、自動補排水等系統對進入化學洗滌塔的廢氣進行化學吸收、除霧，經過處理后的廢氣達標排放。
