15兆歐超純水通常采用的工藝是反滲透加混床，雙級反滲透系統加EDI裝置，綠健水處理就反滲透加混床的超純水制取工藝進行闡述，進水為市政自來水或井水（TDS≤400PPM）：

1、工藝流程：

原水箱－原水增壓泵－多介質過濾器－活性碳過濾器－軟化過濾器－保安過濾器－不銹鋼高壓泵－反滲透裝置－RO純水箱－混床增壓泵－混合離子交換器－超純水箱－終端微孔過濾器

原水箱采用的是PE塑料水箱，增壓泵及高壓泵根據用戶的需求來選配國內品牌，杭州南方特種泵或丹麥進口格蘭富水泵，多介質過濾器也稱為機械過濾器，有不銹鋼材質，A3碳鋼材質，玻璃鋼材質。

過濾器內填裝兩種或多種濾料，填料主要有石英砂，錳砂，SS料，無煙煤等，對去除懸浮物質、泥沙、藻類等有很好的作用，活性碳過濾器主要填裝活性碳，過濾器底部會墊一層比較粗地石英砂增大流量。用在純水系統中也主要分為果殼和椰殼碳，在水處理系統中的作用是去除余氯、吸附異色、異味等。軟化水過濾器主要填裝軟化樹脂，降低水中的鈣鎂離子，其按品牌國內有杭州爭光，上海爭光，英國漂萊特，美國羅門哈斯，美國陶氏，德國朗盛拜爾等等.

保安過濾器通常都是采用不銹鋼材質，能截留預處理中所殘留的顆粒物質等，反滲透裝置核心部件就是反滲透膜，反滲透膜的好壞直接影響水質，比較常用的有美國陶氏，美國海德能，日本東麗，韓國世韓，國內的有匯通等等，混床是制取超純水關鍵的一個工藝，目前反滲透出水電導率只能做2，但是混床可將電導率處理到0.1US以下，即電阻率10兆歐以上。

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