低溫等離子體去除污染物的機理：
等離子體化學反應過程中，低溫等離子設備等離子體傳遞的化學能量在反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場+電子→高能電子
(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，低溫等離子設備電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團;之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
低溫等離子體去除污染物的原理：
因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，低溫等離子設備適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有*優勢的*，等離子體受到了國內外化工廢氣治理方面的高度評價。
低溫等離子體技術在環境工程中的應用：
隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多。這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染。這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生*的危害，工業廢氣的無控制排放使性的大氣環境日益惡化。低溫等離子設備因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。低溫等離子廢氣處理設備在此情況下應運而生。
降解揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有很大的優勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學等基礎學科之上的交叉學科。因此, 目前能成熟的掌握該技術的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術或根本達不到所要求的處理效率。