日韩欧美一区二区三区免费观看_精品国产欧美一区二区_波多野结衣乱码中文字幕_最新无码国产在线视频2021

行業產品

  • 行業產品

湖南頂立科技有限公司


當前位置:湖南頂立科技有限公司>>半導體材料熱工裝備>>碳化硅外延生長爐

碳化硅外延生長爐

返回列表頁
參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地

聯系方式:頂立查看聯系方式

更新時間:2022-03-24 12:01:13瀏覽次數:556次

聯系我時,請告知來自 環保在線

經營模式:生產廠家

商鋪產品:106條

所在地區:湖南長沙市

聯系人:頂立 (經理)

產品簡介

碳化硅外延生長爐主要用于石墨盤或碳化盤的碳化硅外延生長制備

詳細介紹

碳化硅外延生長爐技術特征

采用*的控制技術,能精密控制MTS/MS的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動小;

多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統,能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物,環境友好;

適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/MTS/MS。

碳化硅外延生長爐產品規格

參數/型號HCVD-101015-SiCHCVD-152023-SiCVCVD-0608-SiCVCVD-0612-SiCVCVD-0812-SiCVCVD-1120-SiCVCVD-1218-SiCVCVD-1520-SiC
工作區尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800600×1200800×12001100×20001200×18001500×2000
溫度(℃)15001500150015001500150015001500
溫度均勻性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

碳化硅外延生長爐配置選擇

結構形式:臥式-單開門/門;立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質:內層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質:石墨/CFC

熱電偶:C/S分度號

真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組


感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

環保在線 設計制作,未經允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://www.598km.com,All rights reserved.

以上信息由企業自行提供,信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業負責,環保在線對此不承擔任何保證責任。 溫馨提示:為規避購買風險,建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
主站蜘蛛池模板: 井冈山市| 木里| 晋城| 嘉定区| 成都市| 定南县| 隆林| 盐池县| 琼海市| 黄平县| 永定县| 昌邑市| 扬州市| 栖霞市| 永新县| 无为县| 陵川县| 南木林县| 弋阳县| 平武县| 长汀县| 万州区| 双辽市| 法库县| 谷城县| 抚顺县| 吉林省| 青铜峡市| 五华县| 吉隆县| 盐源县| 建德市| 开封县| 星子县| 宜黄县| 布拖县| 盐津县| 饶平县| 洛隆县| 东光县| 康平县|