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激光燒蝕固體進樣系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號LSX-213型

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:彭珍珍查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-03-24 10:40:33瀏覽次數(shù):199次

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產(chǎn)品簡介

激光燒蝕固體進樣系統(tǒng)

詳細介紹

LSX-213采用高能量DUV(深紫外)213nm固 態(tài)Nd:YAG激光,精密的樣品顯微觀察成像系統(tǒng),高精度樣品工作臺以及功能強大的軟件系統(tǒng),為分析工作者和分析樣品之間建立了直接的“互感”橋梁。 LSX-213把固態(tài)激光的方便,堅固耐用和DUV激光的高效燒蝕性能結(jié)合,是半導(dǎo)體、地質(zhì)、環(huán)境、生物、金屬、刑偵等領(lǐng)域固體進樣的選擇。
激光系統(tǒng)

  • 213 nm固態(tài)Nd:YAG激光、激光能量:4.5mJ/脈沖
  • 輸出能量:0-99%
  • 脈沖寬度:5ns
  • 脈沖頻率:1-20HZ,Q開關(guān)控制
  • 燒蝕斑點:5μm-300μm :10-200μm(軟件光圈控制),所有光斑均具有相同的能量密度
  • 密閉、充氮保護的激光器、機械和熱隔離的激光光路。穩(wěn)定、可靠
光學觀察和成像系統(tǒng):
  • 計算機控制的60-600倍顯微成像,自動變焦的數(shù)碼成像
  • <5μm的光學分辨率
  • 高亮度LED陣列照明,即使在放大倍數(shù)下也能獲得的觀察效果
  • 不管是反射光還是透射光,亮度0-99%可調(diào)
  • 配置偏振鏡系統(tǒng)
  • 密閉、機械和熱隔離成像系統(tǒng),成像的穩(wěn)定,清晰和長壽命
取樣系統(tǒng):
  • 高精度X-Y-Z三維移動樣品臺,0.25μmμ步進分辨率
  • 配置高精度質(zhì)子流量計,可選氮氣作為載氣,以提高分析靈敏度
  • 標配樣品室:52mm(φ)×50mm(H),另外多種規(guī)格可選
  • 獨立的取樣室設(shè)計,最小的空氣殘留和的沖洗時間
  • 可拆式石英樣品室窗,清洗和樣品維護方便、簡單
  • 配置微小薄片樣品架
  • 可伸出的樣品室,樣品更換方便、安全、樣品室復(fù)位后可自動吹掃
樣品池:

  • 采用堅硬牢固的高密度聚甲醛樹脂材料(性質(zhì)類似于TFM),對樣品沒有吸附,
  • 具有良的樣品傳輸效率,減少樣品傳輸引起的分流效應(yīng)
  • 樣品室內(nèi)的氣體已“湍流”的形式傳輸樣品,保證樣品在樣品池內(nèi)的任何位置都具有均一的氣體敏感性和均一的沖洗完整性
軟件系統(tǒng):
Digilaz Ⅱ 軟件:
  • Windows 2000、XP、NT操作系統(tǒng),可安裝在ICP-MS(ICP)的計算機上的激光控制軟件與ICP-MS(ICP)*同步
  • 同一屏幕顯示激光所有狀態(tài)及參數(shù),樣品臺位置,載氣流量和照明控制等
  • “Map”功能可觀察整個樣品區(qū)域,并導(dǎo)視微區(qū)位置
  • 多種燒蝕模式:包括單點、多點、直線、分段直線、光柵式掃描和深度剖面等,滿足各種樣品形狀和分析要求
  • 測量燒蝕斑點或樣品表面的大小
  • 控制聚焦和樣品移動
  • 圖像的捕獲和注解,在線幫助、維修、維護數(shù)據(jù)庫
  • GeoPro數(shù)據(jù)處理軟件(選擇件)
技術(shù)規(guī)格:


  • 儀器大小:69cm×46cm×51cm
  • 數(shù)量:約75kg
  • 電源要求:100-240 VAC
  • 自帶循環(huán)冷卻水系統(tǒng)和安裝推車

關(guān)鍵詞:工作臺 流量計
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