無塵室車間內的潔凈生產問及相關設施有潔凈生產間、無塵室車間用輔助間、管理區、公用動力設備區等，潔凈輔助間包括人凈用室、生活用室、物凈用室、實驗室和物料貯存用庫房等。
無塵室車間的測試：
1．送風量與排風量：如果是紊流無塵室車間，那么就要測量其送風量與排風量。若為單向流無塵室車間，則要測量其風速。
2．各區之間的氣流控制：為證明各區之間氣流運動方向正確，也就是從無塵區向潔凈度差的區域流動，必須檢測：
（1）各區間的壓差正確；
（2）門口處或墻、地板等處的開口處氣流運動方向正確，即從潔凈區向潔凈程度差的區域流動。
3．過濾器檢漏：對過濾器及其外框要進行檢驗，以保證懸浮污染物不會穿過：
（1）損壞了的過濾器；
（2）過濾器與其外框間的縫隙；
（3）過濾器裝置的其他部位而侵入室內。
4．隔離檢漏：這項測試是為了證明懸浮污染物不穿過建筑材料侵入無塵室車間。
5．室內氣流控制：氣流控制測試的類型要依無塵室車間的氣流模式——是紊流還是單向流而定。若無塵室車間氣流為紊流，則必須驗明室內沒有氣流運行不足的區域。若是單向流無塵室車間，則必須驗明整個室內的風速和風向是符合設計要求的。
6．懸浮粒子濃度和微生物濃度：如果上述這些測試滿足要求，則對粒子濃度和微生物濃度（需要時）進行測量，以便驗明其符合潔凈室設計的技術條件。
