黎明濾芯過濾效率和壽命試驗過濾效率是指測定被濾除的特定粒子的百分比，濾清器壽命則以堵塞試驗壓差大于0.07MPa的時間表示。在國外項目中和國內新項目中，F8過濾器是非均勻流潔凈室較常見的預過濾器。對于芯片廠100級，10級或更高級別的潔凈廠房，預過濾器的常見效率級別為H10，許多新項目索性選用HEPA。在國內過去的潔凈室空調系統設計中，過濾器常見配置為：粗效中效高效。那時高效過濾器的使用壽命僅為1--3年，差的也就幾個月。可見，預過濾器的效率高低決定末端過濾器使用的壽命。空氣過濾器的迅速發展是與軍事工業和電子工業的發展緊密相關的。在*次大戰期間，由于各種化學毒劑的使用，以石棉纖維過濾紙作為濾煙層的防毒面具應運而生。玻璃纖維過濾介質用于空氣過濾于1940年10月在美國取得50年代，美國對玻璃纖維過濾紙的生產工藝進行了深入的研究，使空氣過濾器得到了改善和發展。60年代，HEPA過濾器問世；70年代，采用微細玻璃纖維過濾紙作為過濾介質的HEPA過濾器，對013微米粒徑的粒子過濾效率高達99.9998%。八十年代以來，隨著新的測試方法的出現、使用評價的提高及對過濾性能要求的提高，發現HEPA過濾器存在著嚴重的問題，于是又產生了性能更高的ULPA過濾器。各國仍在努力研究，估計不久就會出現更*的空氣過濾器。黎明濾芯