西安工廠廢氣處理設備揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs 又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學及真空技術等基礎學科之上的交叉學科。因此，目前能成熟的掌握該技術的單位非常少，大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術。

西安工廠廢氣處理設備而低溫等離子凈化法因其后期維護成本低等優點正受到越來越多企業的青睞，但也存在設備投資成本高等問題。相信隨著技術和工業的發展，低溫等離子凈化技術會越來越成熟，設備投資也會隨之下降
不同的有機廢氣成分、濃度適用不同的有機廢氣處理方式，目前綜合技術成熟性、經濟性以及設備維護等多方面因素，應用為廣泛的還是活性炭吸附法。但是活性炭吸附法存在適用期限到后廢活性炭洗脫回收成本大、存在污染轉移等缺點，因此新型吸附-催化燃燒法已在技改中或新建項目中被普遍應用但是活性炭吸附法存在適用期限到后廢活性炭洗脫回收成本大、存在污染轉移等缺點，因此新型吸附-催化燃燒法已在技改中或新建項目中被普遍應用