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半導(dǎo)體制造過程中曝光過程的控制用紫外線傳感器UV-300K介紹分析

時(shí)間:2024/10/28閱讀:458
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半導(dǎo)體制造過程中曝光過程的控制用紫外線傳感器UV-300K介紹分析

用于生產(chǎn)線的高性能紫外線傳感器 由高度耐用的紫外-可見波長轉(zhuǎn)換玻璃制成
持續(xù)監(jiān)測是否有一定量的光線照射在其上的紫外線傳感器。您可以監(jiān)控?zé)襞堇匣闆r和不亮燈情況,并適當(dāng)管理燈泡更換。
通過反饋燈的光強(qiáng)度變化來穩(wěn)定光強(qiáng)度。
配備兩種工作模式:光強(qiáng)模式和積分模式。另外,模擬輸出標(biāo)配電壓1~5V/電流4~20mA。此外,還配備了通過示教設(shè)置靈敏度和應(yīng)答功能。

image.png


使用示例

  • 曝光設(shè)備

    曝光設(shè)備

  •  

  • 滅菌、殺菌

    滅菌、殺菌


使用目的

紫外線傳感器廣泛用于多種用途,包括工業(yè)過程控制、質(zhì)量控制、安全改進(jìn)、效率和環(huán)境保護(hù)。

  • 半導(dǎo)體制造設(shè)備:半導(dǎo)體制造過程中曝光過程的控制

  • 水處理:水殺菌、殺菌過程中紫外線的管理

  • UV 固化:使用 UV 固化粘合劑進(jìn)行過程控制

  • 照明:磁粉探傷中紫外光的監(jiān)測

  • 印刷:驗(yàn)證紫外線是否正確固化油墨和涂料

  • 空氣凈化:食品工廠等紫外線空氣凈化的光強(qiáng)度控制。

  • 薄膜:表面改性的紫外線管理

放大器本體規(guī)格

格式紫外-300K
運(yùn)行指示燈紅色LED(檢測輸出ON時(shí)亮起)
測量光量范圍*UV-T254、UV-T365、UV-L、UV-S
[254nm] 0.1 至 30mW/cm2,使用高靈敏度頭時(shí):0.01 至 3mW/cm2
[365nm] 3 至 900mW/cm2,使用高靈敏度頭時(shí)光頭:0.3~90mW/cm2
UV-T405
[405nm] 300~9,000mW/cm2
外部示教輸入
外部復(fù)位輸入
ON:0~1.5V(0V短路電流1mA以下)
OFF:開路或4~30V
光量值顯示(相對值)3位LED
光強(qiáng)模式:0-125%
積分模式:0-200%
檢測輸出
應(yīng)答輸出
NPN集電極開路(DC30V、100mA以下)
模擬輸出電壓/電流切換
1~5V (0~100%, 6V/125%)
4~20mA (0~100%, 24mA/125%)
檢測輸出
閾值設(shè)置
通過開關(guān)以 1% 為單位進(jìn)行設(shè)置
光強(qiáng)度模式:10 至 100%
積分模式:10 至 200%
靈敏度設(shè)置示教(設(shè)置為100%值)
最小靈敏度、最大靈敏度、零點(diǎn)設(shè)置
電纜0.15mm2 屏蔽7芯
橡膠電纜 φ5.5mm x 2m
重復(fù)性±2%FS以下
溫度漂移0.1%FS/℃以下
使用環(huán)境溫度:-25~+55℃/35~85%RH(不凝露、不結(jié)冰)
電源電壓DC12~24V±10%(紋波P-P10%以下)
響應(yīng)時(shí)間300ms以下
消耗電流50mA以下(不包括輸出電流)
大量的約140克

* 254nm:Oak Manufacturing UV-M02 (UV-25) 365nm:Ushio Inc. UIT-101 (UVD-365PD) 405nm:Oak Manufacturing UV-42

傳感頭規(guī)格

格式※紫外-T405紫外-T365紫外-T254紫外線紫外光
特征耐熱長袖短袖
監(jiān)測波長范圍200~330nm、360~420nm、455~476nm、517~600nm300~380nm170~380nm
溫度漂移-0.3%/℃以下(at254nm)
-0.1%/℃以下(at365nm)
-0.06%/℃以下(at405nm)
-0.1%/℃以下
使用環(huán)境溫度:-40~+300℃/ 35~85% RH(不凝露、不結(jié)冰)溫度:-40~+150℃/ 35~85% RH(不凝露、不結(jié)冰)
材料紫外可見波長轉(zhuǎn)換玻璃,SUS
配件M6螺母、墊圈

* UV-T365和UV-T254具有高靈敏度頭UV-T365W和UV-T254W。

導(dǎo)光板規(guī)格

格式紫外光紫外線F
特征耐熱自由剪裁
使用環(huán)境溫度:-40~+300℃/ 35~85% RH(不凝露、不結(jié)冰)溫度:-40~+70℃/ 35~85% RH(無凝露、無凍結(jié))
儲存溫度-40~+70℃
全長2m(帶防紫外線管)2m(前端有1m紫外線防護(hù)管)
材料多組分玻璃,SUS丙烯酸、聚乙烯、SUS

*放大器插入部分的耐熱溫度為+70℃

外觀圖

  • 放大器 [UV-300K]

    放大器

  •  

  • 耐熱傳感頭[UV-T254、T405(無黑玻璃)/UV-T365]

    耐熱傳感器頭

  •  

  • 傳感頭[UV-S(L=50±1)/UV-L(L=100±1)]

    傳感頭

  •  

  • 光導(dǎo) [UV-H(上)/UV-F(下)]

    光導(dǎo)


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