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專為半導體制造等高精度行業設計的露點儀TK-100

時間:2025/2/16閱讀:226
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專為半導體制造等高精度行業設計的露點儀TK-100

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TK-100是一款專為半導體制造等高精度行業設計的露點儀,主要用于監測和控制氣體或環境中的水分含量。以下是TK-100的主要特點、技術參數和應用場景:

主要特點

  1. 高精度測量

    • TK-100采用先進的傳感器技術,能夠實現高精度的露點測量,確保半導體制造過程中的氣體和環境濕度符合嚴格的要求。

  2. 寬測量范圍

    • 該露點儀具有寬廣的測量范圍,通常覆蓋從-100°C到+20°C的露點,適用于多種半導體制造工藝。

  3. 快速響應時間

    • TK-100具有快速的響應時間,能夠實時監測氣體或環境中的水分變化,確保及時調整和控制。

  4. 抗污染能力強

    • 在半導體制造環境中,可能存在各種化學污染物。TK-100設計有抗污染能力,能夠在惡劣環境中穩定工作。

  5. 易于集成

    • TK-100支持多種通信協議,易于與現有的監控和控制系統集成,方便用戶進行數據采集和分析。

  6. 用戶友好界面

    • 該露點儀配備直觀的用戶界面,操作簡單,便于用戶進行設置和監控。

技術參數

  • 測量范圍:-100°C to +20°C 露點

  • 精度:±2°C 露點

  • 響應時間:<10秒(達到90%的最終讀數)

  • 工作溫度:-20°C to +50°C

  • 輸出信號:4-20mA, RS485, Modbus RTU

  • 電源供應:24VDC

  • 防護等級:IP65

應用場景

  1. 潔凈室監控

    • TK-100用于監測潔凈室中的露點,確保環境濕度符合半導體制造的要求。

  2. 氣體純度檢測

    • 在半導體制造過程中,使用的高純度氣體(如氮氣、氬氣)需要嚴格控制水分含量。TK-100用于檢測這些氣體的露點,確保其純度。

  3. 工藝氣體監控

    • 在薄膜沉積、蝕刻等關鍵工藝中,TK-100用于監控工藝氣體的露點,防止水分影響產品質量。

  4. 壓縮空氣系統

    • 壓縮空氣中的水分會影響設備性能,TK-100用于監測并保持系統干燥。

  5. 儲存和運輸

    • 半導體材料和氣體在儲存和運輸過程中需要保持干燥,TK-100用于監控環境條件。

優勢

  • 高可靠性:TK-100設計用于長時間穩定運行,減少維護需求。

  • 多功能性:適用于多種氣體和環境條件,具有廣泛的應用范圍。

  • 易于維護:模塊化設計使得傳感器更換和校準變得簡單方便。

總結

TK-100露點儀憑借其高精度、快速響應和抗污染能力,在半導體制造設備中發揮著重要作用。它能夠有效監控和控制氣體和環境中的水分含量,確保半導體制造過程的高質量和穩定性。



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