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產地	進口	冷卻方式	水冷式
儀器種類	分體式

日本sscooling架式冷水機組ThermoRack 1201

1，200 瓦的冷卻能力
±0.05°C 溫度穩定性/重復性
工作溫度范圍：-10°C 至 80°C
專為非常快速的響應而設計
減少晶圓間的變化，消除晶圓效應
比基于壓縮機的冷水機組節能高達 80%
采用熱電技術，可靠性高，維護成本低
設計簡單 – 只有 2 個活動部件
消除氟利昂和其他有害制冷劑，符合新的環境法規

使用更少的設施水和昂貴的冷卻劑，如氟惰性或高登
緊湊的尺寸：多達 6 個 TR1201 系統適合 1 臺壓縮機冷水機組的空間
通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統
通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用
等離子刻蝕、等離子灰、CMP 和其他工藝的解決方案
輔助加熱器可用于加熱65°C以上
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日本sscooling架式冷水機組ThermoRack 1201

規格

工作范圍：

5°C 至 80°C（-10°C 至 80°C，帶 N2 選項）
如果在 0°C 以下工作，則需要 LT 選件

環境溫度：

10°C 至 40°C 無冷凝

穩定性/可重復性：

恒定負載下± 0.05°C（即使在接近環境溫度時）

制冷量*：

~1，200 瓦 @ 20°C，20°C 設施用水

加熱能力**：

~2，000 瓦 @ 20°C，20°C 設施用水

冷卻液/工藝流體：

氟惰性/高登/HFE或水/乙二醇

工藝流體接頭：

1/2“ 世偉洛克（316 不銹鋼）

泵：

無刷直流磁力驅動離心機

流量

14-18 升/分鐘@ 20 psig（取決于工藝流體）

油箱容積：

5.7 升（1.5 加侖），帶 2 個液位傳感器

設施用水：

4-19 升/分鐘（1-5 加侖/分鐘）@ 10-35°C 過濾，處理過的再循環設施冷卻水，pH 6.5 至 8.2

設施水配件：

1/2“ 世偉洛克（316 不銹鋼）

N2/CDA（N2 選項）

500 sccm -30°C 露點或更低的 CDA 或 N2，
30-60 psig （2-4 bar），用于低溫操作

接液材料：

工藝：鋁，不銹鋼和聚合物設施
：密封硬質陽極氧化鋁
和不銹鋼

尺寸（寬 x 深 x 高）：

19 英寸 x 24 英寸 x 8.7 英寸 5U（48 厘米 x 61 厘米 x 22 厘米）

重量：

70 磅（31 千克）

電源輸入：

200-240 VAC 1 相，50/60 Hz，最大 10 A

斷路器：

16 安培 200-250 VAC 2 極，帶 30 mA GFCI

遠程EMO：

外部干接點

通信：

泛林，應用材料公司， RS232，其他

警報：

溫度、液位、系統或組件
故障（顯示、干接點和機器接口）

標準：

半 S2-0200，符合 F47 標準，CE

保證：

2 年

*注意：冷卻能力會因配置和設施而異水溫/流速

**注意：80°C的加熱能力非常有限。

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