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管式爐具有操作簡(jiǎn)單、保溫效果好、控溫精度高、溫度范圍大以及可通氣氛等特點(diǎn),主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。管式爐的爐型有很多種,如立式、臥式、單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)、五溫區(qū)、單管、雙管等等。 在實(shí)驗(yàn)及生產(chǎn)中,應(yīng)如何選擇管式爐爐型呢?下面簡(jiǎn)單介紹一下如何根據(jù)要求來(lái)選擇管式爐:
1、根據(jù)工作溫度要求選擇:如果工作溫度要求小于1200°C,可選擇爐管為石英管,加熱元件是含鉬電阻絲的管式爐;如果工作溫度大于1200小于1400,可選擇爐管為氧化鋁,加熱元件是硅碳棒的管式爐;如果工作溫度大于1400小于1700,可以選擇爐管為氧化鋁,加熱元件是硅鉬棒的管式爐;
2、根據(jù)升溫速率要求來(lái)選擇:如果升溫速率要求不高,0-30°C/min,一般的管式爐都可以選擇,但如果升溫速率要求比較高,大于30°C/min,需要選擇具有快速退火功能的管式爐,比如滑動(dòng)式快速退火爐,RTP快速退火爐等;
3、根據(jù)壓力要求來(lái)選擇,如果正壓超過(guò)0.03Mpa,需要選擇高壓管式爐,如果同時(shí)對(duì)溫度要求也比較高,需要選擇高溫高壓管式爐;
4、根據(jù)加熱區(qū)來(lái)選擇,如果需要多個(gè)溫區(qū)來(lái)進(jìn)行加熱,則選擇多溫區(qū)管式爐,具體溫區(qū)數(shù)可以根據(jù)要求來(lái)選擇;
5、根據(jù)工藝受熱要求來(lái)選擇,比如對(duì)特定材料要求受熱更均勻,可根據(jù)需求來(lái)選擇旋轉(zhuǎn)管式爐、多工位管式爐等。
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