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PMS 橢偏在線監(jiān)測(cè)裝備紫外光譜儀

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更新時(shí)間：2022-10-05 09:41:30瀏覽次數(shù)：413次

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PMS 橢偏在線監(jiān)測(cè)裝備

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：橢偏在線監(jiān)測(cè)裝備針對(duì)LCD、OLED等新型平板顯示量光學(xué)薄膜質(zhì)量控制需要，專門設(shè)計(jì)的在線薄膜測(cè)量系統(tǒng)。可適用于空氣、N2、真空等環(huán)境條件，自動(dòng)實(shí)現(xiàn)玻璃基板上各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布的全片快速掃描測(cè)量。橢偏在線監(jiān)測(cè)裝備廣泛應(yīng)用于工業(yè)中新型光電器件行業(yè)所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機(jī)發(fā)光薄膜、有機(jī)/無(wú)機(jī)封裝薄膜大基片各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布的在線式全片快速掃描測(cè)量。

產(chǎn)品型號(hào)	PMS 橢偏在線監(jiān)測(cè)裝備
主要特點(diǎn)	1、支持產(chǎn)線大基片自定義多點(diǎn)掃描測(cè)量并輸出報(bào)告 2、支持大193-2500nm全波段分析測(cè)量 3、支持多橢偏方案，多組合集成 4、支持測(cè)頭模塊以及樣件機(jī)臺(tái)定制化
技術(shù)參數(shù)	測(cè)頭規(guī)格	穆勒矩陣橢偏測(cè)頭	光譜橢偏測(cè)頭	反射膜厚測(cè)頭
	自動(dòng)化程度	可變/固定角+ mapping	可變/固定角+ mapping	垂直角+ mapping
	應(yīng)用定位	高階高精度型	高精度型	通用型
	單次測(cè)量時(shí)間	0.5-5s		小于1s
	分析光譜	380-1000m(支持?jǐn)U展至193-2500nm)		380-1100nm
	Mapping行程	支持行程定制化
	支持樣件尺寸	安需定制化