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100W小型手動匹配型射頻電源RF-100-LD

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更新時間：2020-12-18 17:31:42瀏覽次數(shù)：280次

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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

100W小型手動匹配型射頻電源RF-100-LD

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：100W小型手動匹配型射頻電源RF-100-LD頻率為13.56MHz，專門與本司1"的磁控濺射頭配用，可搭建成一套較廉價的濺射鍍膜系統(tǒng)，用于制作非導(dǎo)電薄膜。

產(chǎn)品型號	100W小型手動匹配型射頻電源RF-100-LD
技術(shù)參數(shù)	1、電源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2、輸入功率：5W-100W（可調(diào)），穩(wěn)定性±1% 3、射頻頻率：13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005% 4、匹配：手動匹配 5、冷卻：風(fēng)冷 6、噪音：<50dB
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：390mm×260mm×105mm
可選配件	1、1"高真空磁控濺射頭，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。 2、同時購買100W射頻發(fā)射器和1"磁控濺射頭時，本司贈送1個高真空快速接頭。接頭內(nèi)徑為0.75"，可將濺射　頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1"，真空腔體的壁厚不得大于1"。 3、循環(huán)水冷機，流量為16L/min，水箱容積為6L。