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SKJ-50晶體生長爐

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更新時間：2023-02-15 08:27:59瀏覽次數：184次

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產品簡介

SKJ-50晶體生長爐

詳細介紹

產品簡介：SKJ-50晶體生長爐是用提拉法生長高質量氧化物單晶及金屬單晶，如藍寶石、GGG、YAG、SrLaAlO₄、LaAlO₃、Si、Ge等，可長出晶體尺寸達3" 。

產品型號	SKJ-50晶體生長爐
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設備配有自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關），必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭） 4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風裝置：需要
主要特點	1、與同類相比屬于小型晶體生長爐，適合于大專院校、研究所使用。 2、電子稱在生長過程中可自動控制晶體的直徑。
技術參數	1、電源：三相380V 25KW 2、感應射頻：功率25KW，射頻0.2KHz-20KHz 3、真空腔體：Ø500mm×700mm 4、真空度：10^-3torr（機械泵），10^-5torr（擴散泵） 5、提拉行程：500mm 6、提拉速度：0.1mm/h-20mm/h 7、籽晶桿旋轉速度：0-40rpm 8、可熔融溫度：2100℃ 9、控溫精度：<±0.2℃ 10、冷卻水：所需水壓0.13MPa-0.18MPa，所需流量60L/min 11、移動速度：1mm/h-10mm/h可調 12、快速移動：手動 13、結晶轉速：1rpm-50rpm 14、真空系統：機械泵和擴散泵 15、極限真空度：10^-5torr
產品規格	1、爐體：880mm×1250mm×2850mm 2、控制柜：680mm×540mm×1700mm 3、中頻柜：1100mm×500mm×1500mm 4、總重：1500kg