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蘇州富怡達超聲波有限公司
蘇州富怡達超聲波有限公司
設備型號：FWA-30120TES 清洗對象：藍寶石硅片 使用廠家：福建晶安光電
詳細參數 Parameter
3.1進料→超聲波清洗→超聲波清洗→超聲波清洗→超聲波漂洗→出料
3.2 清洗目的：去除工件加工過程中殘留的油污及粉屑
3.3清洗介質：水+脫脂劑
3.4清洗對象：晶圓
3.5 設備流向：從右至左，進出料口設在設備正面，采用垂直進出料方式。
4. 工作節拍：
4.1以專用提籃為片盒載具入槽進行處理，每槽同時處理一個專用提籃，提籃規格為560×465×200nn,采用8mm不銹鋼元棒焊接制作，，每個2吋提籃可裝載2吋晶片21盒（525片）、每個4吋提籃可裝載4吋晶片12盒（300片）。每個片盒放置25個晶片
4.2專用提籃入槽、出槽及槽位間傳遞均由智能機械臂自動操作完成。機臺的上下料由人工完成。
3.1進料→超聲波清洗→超聲波清洗→超聲波清洗→超聲波漂洗→出料
3.2 清洗目的：去除工件加工過程中殘留的油污及粉屑
3.3清洗介質：水+脫脂劑
3.4清洗對象：晶圓
3.5 設備流向：從右至左，進出料口設在設備正面，采用垂直進出料方式。
4. 工作節拍：
4.1以專用提籃為片盒載具入槽進行處理，每槽同時處理一個專用提籃，提籃規格為560×465×200nn,采用8mm不銹鋼元棒焊接制作，，每個2吋提籃可裝載2吋晶片21盒（525片）、每個4吋提籃可裝載4吋晶片12盒（300片）。每個片盒放置25個晶片
4.2專用提籃入槽、出槽及槽位間傳遞均由智能機械臂自動操作完成。機臺的上下料由人工完成。
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