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上海華愛色譜分析技術有限公司
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GC-9560-HG硅烷分析氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業用氣體中痕量雜質的檢測，Z小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司*的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統，保證不同底氣的樣品的進樣量*。產品先后榮獲上海市*成果轉化*項目、上海市重點新產品、上海市火炬計劃和2009科學儀器產品等稱號。
硅烷是重要的新材料產品，廣泛應用于LCD平板顯示、半導體、太陽能等行業，隨著中國半導體等行業的發展，國內對硅烷的需求與日俱增，但是由于國內硅烷生產的技術處于起步階段，如何對硅烷的純度進行分析是各個生產廠商需要面臨的一個課題
*，高純氣體的分析是一個復雜的過程，也是色譜分析的難點之一；硅烷由于其物理性質的特殊性，其分析的難度可謂難上加難，不僅需要高靈敏的檢測器，還要解決硅烷遇氧燃燒的問題。GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀克服了硅烷分析過程中的眾多技術難點，采用高靈敏度的氦離子化檢測器，配備的硅烷取樣系統，很好的完成了硅烷中痕量的ppb級雜質的分析。
適用的標準：
GC-9560-HG硅烷分析氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業用氣體中痕量雜質的檢測，zui小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司*的中心切割技術，所配備的進樣閥均為帶有吹掃保護氣路的進口閥；整機采用多柱箱設計，不同色譜柱可單獨控溫，zui大限度地優化了分離條件，并且方便對不同色譜柱分別進行老化處理，方便儀器的維護；儀器配備進樣壓力自動校正系統，克服了不同底氣因分子量不同而造成的進樣量不*多導致的分析誤差。
一、GC-9560-HG硅烷分析氦離子化氣相色譜儀的性能優勢：
氣體工業是國民經濟的基礎行業，是工業生產的“血液”，隨著國民經濟的快速發展，對高純氣體和電子工業用氣體的需求量也快速增長。痕量雜質的檢測是生產高純氣體和電子工業用氣的關鍵環節，而痕量雜質的分析一直是色譜分析的難點，傳統的熱導等色譜檢測器均無法勝任高純的氣體分析。
脈沖放電氦離子化檢測器（PDHID）是一種靈敏度*的通用型檢測器，對幾乎所有無機和有機化合物均有很高的響應，特別適合高純氣體的分析，是*能夠檢測至ng/g（ppb）級的檢測器。新制定的國家標準中規定，采用氦離子化檢測器替換原有的熱導等檢測器，華愛色譜承擔主要起草任務的國家標準《氣體分析 氦離子化氣相色譜法》也正在制定之中，不久將正式公布實施。
PDHID對硅烷中氣體雜質檢測限（ppb）
| H2 | O2 Ar | N2 | CO | CH4 | CO2 | C2 | C3 | SimHn |
| 10 | 25 | 50 | 50 | 20 | 20 | 20 | 20 | 50 |
二、GC-9560-HG的系統配置：
（1）GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀 （2）氦離子化檢測器（PDHID）
（3）中心切割系統 （4）電子氣體取樣系統
（5）氧吸附與還原系統 （6）氦氣純化器
（7）載氣減壓閥 （8）無死體積取樣閥
（9）載氣過濾器 （10）樣品過濾器
（11）色譜柱 （12）標準氣體
（13）高純氦（純度>99.999％） （14）GC-9560V4.0版反控色譜工作
GC-9560-HG的分析效果圖：
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