μsurf系列產品采用多孔共聚焦技術，結合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內精確量測物體的三維數據。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴酷的工作環境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度，建立3D立體影像，優勢相當明顯。 
      
    便攜式共聚焦顯微鏡一個特殊改裝的固定工作臺可以承載大體積高重量的測試物體，結合一個可以自由移動的滾輪式工作臺，μsurf 移動式3D測量系統可以輕易的傳輸并且設置在任意一個地方進行使用。μsurf 特別為大體積樣品的測量而開發。例如，軋輥和車身。由于其便攜性，它非常適用于工廠的在線檢查。μsurf 移動式3D測量系統只需幾分鐘準備便可進行測量，并且可以方便地架設在測試對象上--因為它的重量只有5公斤。根據不同測量要求可以編輯不同的應用方案。配有鼻輪和專業解決方案軟件的μsurf 移動式3D測量系統可滿足了各種各樣的測量任務。 

便攜式共聚焦顯微鏡技術參數 
    LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 
    測量時間：5~10秒 
    測量原理：非接觸、共聚焦、可移動，可以檢測大型的物體 
    X/Y方向移動范圍：50mmX50mm，馬達驅動，X/Y方向分辨率：0.3μm 
    Z方向移動范圍：35mm 
    Z方向測量范圍：250μm，Z方向分辨率：< 10nm 
    物鏡：10X、20X、50X、100X(可選) 
    計算機：高性能計算機控制系統，功能強大且全面的軟件，有拼接功能