Solarius Atlas三維形貌輪廓測量是應用于品保和過程控制的獨立模塊化表面3D測量設備。基于用戶的的具體需求，Atlas可配備不同類型3D表面測量傳感器，從而使其成為滿足各種測量要求的理想設備。基于Atlas強大的靈活性，各種不同的材料以及復雜的幾何結構都能被精確掃描。Atlas的軟件系統支持生產環境下的自動化高效測量。其軟件解決方案結合了兩種軟件工具：一種是可編程的測量工具，另一種是高靈活性的分析軟件。這種*的集成方式是研發、失效分析和小批量半自動量測的理想配置。
易于自動化
極速測量
靈活多樣的傳感器配置
大測量平臺
定制化測量程序
靈活的分析工具
Solarius Atlas三維形貌輪廓測量平臺是一套配置隔震裝置的獨立系統，其平面測量范圍高達400x400mm。根據需求可配置共聚焦、白光干涉及線激光三角傳感器；對應不同類型的傳感器，其高度方向的分辨率范圍從10nm至200um。其中白光干涉傳感器能夠以高達4um的分辨率在0.13s內完成80,000點的高速掃描。Atlas在數據采集以及分析上提供多種軟件選項，其中包括一套用于自動化批量重復測量的程序創建和管理工具。