便攜式共聚焦顯微系統應用

μsurf系列用來測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。μsurf 主要對大型樣品進行測試，在以下幾個行業中被眾多企業廣泛使用：
汽車行業
印刷和造紙行業
鋼鐵行業
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便攜式共聚焦顯微系統技術參數
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
測量時間：5~10秒
測量原理：非接觸、共聚焦、可移動，可以檢測大型的物體
X/Y方向移動范圍：50mmX50mm，馬達驅動，X/Y方向分辨率：0.3μm
Z方向移動范圍：35mm
Z方向測量范圍：250μm，Z方向分辨率：< 10nm
物鏡：10X、20X、50X、100X(可選)
計算機：高性能計算機控制系統，功能強大且全面的軟件，有拼接功能
工作電源：90-265 V, 50-60 Hz, input < 50 W（也可用電池做電源）
材質：鋼鐵、橡膠、大理石
外型尺寸：380*110*115mm
重量：5.5KG（不含防震拉桿箱）
潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)