煙氣濕度儀廣泛應用于煙氣在線連續監測系統CEMS中脫硫脫硝等工況中煙氣濕度的在線測量，采用薄膜電容法傳感器技術，測試精度高、穩定性強且壽命長。適用于高溫高濕等相對惡劣工況中使用，亦可應用于木材、建材、造紙、化工、制藥、纖維、紡織、煙草、蔬菜、食品加工等在線濕度測控。
一、精密機械加工業
煙氣濕度儀在精密機械加工和計量等場合也有應用，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，應保持工作環境溫度的均一性。工件溫度的允許波動幅度應根據加工精度決定。例如，在恒溫室里對一根長500mm的標準尺刻線，工藝允許線間公差為2um，其中lum為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量＝0.20C[a為尺線膨脹系數，取10／um／(m?K)；l為尺長，m]，故工件溫度變化需在： 以內。但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動傳人工件后，就要衰減。在設計恒溫系統時，一般總是以恒定環境空氣溫度為依據，故相應的環境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此，在確定恒溫室參數和選擇自動控制時，須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。
二、電子制造業
煙氣濕度儀在電子行業制造車間是常用的，車間是經常產生靜電的地方，通常靜電會對產品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事故，所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低于30%，這樣即可以減少靜電的產生，通常建議無塵車間的防靜電區域相對濕度不低于50%。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子廠無塵車間無特殊要求的情況下，溫度控制在22 ℃ 左右，相對濕度控制在 55 ～ 60%RH 之間，在這種環境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。
三、生物制藥業
在生物制藥的潔凈車間中對易吸潮藥品的相對濕度要求45％～50％RH(夏季)，片劑等固體制劑50％～55％RH，水針及口服液55％～65％RH 。這樣有利于更好的控制藥品的生產質量。
四、集成電路生產加工行業
在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
五、食品生產業
食品，保健品，飲料等車間對對生產潔凈度要求是比較高的，通常為10萬級至萬級以上，但同時車間的濕度越低越容易滋生細菌，細菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至zui低。
