日韩欧美一区二区三区免费观看_精品国产欧美一区二区_波多野结衣乱码中文字幕_最新无码国产在线视频2021

行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

武漢賽斯特精密儀器有限公司


離子刻蝕機

返回列表頁
參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質生產(chǎn)商

所  在  地武漢市

聯(lián)系方式：左斌斌查看聯(lián)系方式

更新時間：2021-04-25 15:12:56瀏覽次數(shù)：1438次

聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：1668條

所在地區(qū)：湖北武漢市

聯(lián)系人：左斌斌 （銷售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介
加工定制 是    

離子刻蝕機 深硅刻蝕的主要應用包括: MEMS，*封裝（TSV）,功率器件等等。

詳細介紹

離子刻蝕機

 

SPTS作為*的深硅刻蝕和犧牲層刻蝕設備的供應商，SPTS能夠提供一系列的解決方案來滿足客戶的生產(chǎn)和開發(fā)要求。通過一系列的技術的開發(fā)，SPTS能為客戶提供一系列的*的工藝，比如功率MOSFET和200mm和300mm晶圓上的端封裝（3D封裝和芯片級封裝）。

深硅刻蝕工藝的主要過程包括：

1） 鈍化處理過程（C4F8等離子體）

一階段：由C4F8產(chǎn)生CFn聚合物沉淀在所有的表面

2） 刻蝕過程（SF6等離子體）

第二階段：由于離子體的定向運動，基面上的聚合物被去除的速度要比在側壁的去除速度快。

第三階段：暴露的硅表面就會被F系物刻蝕掉，SF6*提供等離子體，來實現(xiàn)高深寬比的刻蝕。

 

離子刻蝕機

 

深硅刻蝕的主要應用包括: MEMS，*封裝（TSV）,功率器件等等。

 

SPTS提供一系列的設備來滿足客戶研發(fā)到生產(chǎn)不同的要求。包括ICP-SR/SRE系列，而Pegasus則是大量生產(chǎn)所使用的設備。

 

Pegasus是行業(yè)先的深槽刻蝕設備，可以提供理想的刻蝕速度，但同時保證側面特征良好控制和一致性。通過利軟件“boost and delay”和利 “parameter ramping” 以及絕緣硅技術實現(xiàn)了高性能的工藝控制。

 

parameter ramping技術：

實時調節(jié)工藝過程參數(shù)，以達到理想的側面輪廓。

關鍵詞：刻蝕機 芯片

您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

環(huán)保在線 設計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://www.598km.com,All rights reserved.

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責，環(huán)保在線對此不承擔任何保證責任。 溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產(chǎn)品前務必確認供應商資質及產(chǎn)品質量。

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

請 登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功！我們將在第一時間回復您~
主站蜘蛛池模板： 黄浦区| 双柏县| 武隆县| 梁河县| 汪清县| 惠水县| 红河县| 库伦旗| 榆树市| 邳州市| 隆安县| 吉隆县| 马公市| 韶关市| 霍城县| 惠水县| 桐庐县| 武川县| 洞口县| 金平| 瑞昌市| 泊头市| 开封县| 开化县| 宁乡县| 平和县| 长白| 灵丘县| 昭觉县| 佛冈县| 岳西县| 鹤峰县| 潮州市| 大同市| 晋江市| 绥芬河市| 华蓥市| 阳新县| 百色市| 兴安县| 曲阜市|